我所是中国电子科技集团公司直属的国内唯一从事以三束(电子束、离子束、分子束)为主半导体微细加工设备研制开发的专业研究所，地处湖南省长沙市天心区，全所占地面积230亩。所内绿树成荫，环境幽美，是进行科研工作的理想之地。 　　我所技术力量雄厚，专业结构配套，具有开发市场、为经济建设服务的潜力和科研试制、小批量生产成线的能力，属基础研究与应用开发相结合的综合型设备研究所。自一九七六年建所以来，我所根据国家军品民品对微电子发展的需要，积极跟踪国外先进技术，研制出一代又一代具有国内外先进水平的设备，在我国半导体微细加工技术领域处于领先地位。在国家“六五”至“十五”期间，我所承担了多项国家重大科技攻关项目和军工科研任务，并在科技体制改革中，坚持以科研为中心、以市场为导向，军品优先、军民结合，发挥技术优势，适时调整产品结构，积极开拓其他科研领域，完成了由单一科研型向科研经营型的转变。建所以来，我所共取得了百余项科技成果，获得82项国家和省部级科研成果奖，有28项产品填补了国内空白或属国内首创，36项属国内外先进水g平，11项产品列入了国家进口替代产品，为我国电子产业的发展作出了贡献。 　　我所主要从事半导体微细加工设备、电子工业窑炉、金属镀膜压力传感器、元件及显像管设备等四大系列几十种产品的研制开发与生产，其中多种产品处于国内领先地位或已达到国际先进水平，占据市场主导地位，年产值逾亿元，取得了良好的经济效益和社会效益。