技术参数
型号
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IVG2010
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IVG3020
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IVG4030
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IVG5040
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行程(mm)
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200×100×200
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300×200×200
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400×300×200
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500×400×200
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外部尺寸(mm)
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1040X740X1620
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1040X740X1620
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1240X800X1620
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1440X1000X1620
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承重(kg)
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25
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25
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25
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25
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测量精度
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XY轴
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(2.5+L/200)µm
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Z轴
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(5+L/200)µm
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CCD
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百万像素彩色CCD
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光学系统
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NAVITAR镜头,光学放大倍率:0.5x - 4x,总放大倍率:36x - 288x
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光源
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轮廓光
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LED方形光源,亮度可调
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表面光
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多角度LED环形光源,亮度可调
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光栅尺分辨率
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0.5µm
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运动控制
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多轴高精度运动控制卡
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软件
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microscopeium
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电源
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220V/50Hz
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工作环境
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温度20℃±2℃,温度变化<2℃/hr,湿度40~80%
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振动<0.002g,低于15Hz
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