MSM三用磁控溅射电源

主要参数 空载电压≥800V，工作电压200～600V 工作方式（开关选定）： A.直流磁控溅射 B.单极性磁控溅射 C.双极性磁控溅射 正负极性平均电流独立稳流，精度1% 脉冲频率3kHz～30kHz（连续可调或定频） 正负脉冲占空比10%～80%（连续可调） 主要规格 按输出功率分为：2kW、5kW、10kW、20kW、30kW等