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MSM三用磁控溅射电源

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简介
主要参数 空载电压≥800V,工作电压200~600V 工作方式(开关选定): A.直流磁控溅射 B.单极性磁控溅射 C.双极性磁控溅射 正负极性平均电流独立稳流,精度1% 脉冲频率3kHz~30kHz(连续
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产品详情
主要参数 空载电压≥800V,工作电压200~600V 工作方式(开关选定): A.直流磁控溅射 B.单极性磁控溅射 C.双极性磁控溅射 正负极性平均电流独立稳流,精度1% 脉冲频率3kHz~30kHz(连续可调或定频) 正负脉冲占空比10%~80%(连续可调) 主要规格 按输出功率分为:2kW、5kW、10kW、20kW、30kW等
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