MSB1非对称双极脉冲磁控溅射电源

主要参数 空载电压≥800V，工作电压200～600V 正负极性平均电流独立稳流，精度1% 脉冲频率：3kHz～30kHz（连续可调或定额） 脉冲占空比：10%～80%（连续可调） 主要规格 按输出功率分为：5kW、10kW、20kW、30kW、50kW、70kW、100kW等。