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ECR微波等离子体源电源系统
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简介
主要参数 1. 阳极电源 （1）输出电压：3.5～4.5kV，自动稳压，稳压精度1% （2）输出电流：0～300mA 2. 灯丝电源 （1）输出电压：3～30V （2）输出电流：5～15A，自动稳流，稳流精度1%
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产品详情
主要参数 1. 阳极电源 （1）输出电压：3.5～4.5kV，自动稳压，稳压精度1% （2）输出电流：0～300mA 2. 灯丝电源 （1）输出电压：3～30V （2）输出电流：5～15A，自动稳流，稳流精度1% 3. 磁场电源 （1）输出电压：0～100V （2）输出电流：20～100A，自动稳流，稳流精度1%
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