MSP单极脉冲磁控溅射电源

主要参数 空载电压≥1200V，工作电压：200～700V 平均电流稳流精度1% 脉冲频率：40kHz～80kHz（连续可调或定频） 脉冲占空比：10%～80%（连续可调） 主要规格 按输出功率分为：2kW、5kW、10kW、20kW、30kW、50kW、70kW、100kW等。