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MSP单极脉冲磁控溅射电源

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简介
主要参数 空载电压≥1200V,工作电压:200~700V 平均电流稳流精度1% 脉冲频率:40kHz~80kHz(连续可调或定频) 脉冲占空比:10%~80%(连续可调)主要规格 按输出功率分为:2kW、5kW、10kW、2
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产品详情
主要参数 空载电压≥1200V,工作电压:200~700V 平均电流稳流精度1% 脉冲频率:40kHz~80kHz(连续可调或定频) 脉冲占空比:10%~80%(连续可调) 主要规格 按输出功率分为:2kW、5kW、10kW、20kW、30kW、50kW、70kW、100kW等。
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